南開大學(xué)羅鋒教授做客Nano-X科學(xué)講堂
12月20日,蘇州納米所納米真空互聯(lián)實(shí)驗(yàn)站(Nano-X)成功舉辦了第十一期“科學(xué)講堂”。本次講堂特邀南開大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院/電子信息與光學(xué)工程學(xué)院羅鋒教授作為主講嘉賓,為大家?guī)砹艘粓?chǎng)題為“同步輻射X射線技術(shù)在半導(dǎo)體材料表征與器件缺陷檢測(cè)中的應(yīng)用”的精彩專題講座。本期“科學(xué)講堂”由Nano-X主任張珽研究員主持,吸引了所內(nèi)師生的熱情參與。
同步輻射光源大科學(xué)裝置技術(shù)在原位、元素分辨、時(shí)空分辨上具有獨(dú)特優(yōu)勢(shì),有望在半導(dǎo)體材料的表界面表征分析以及在先進(jìn)制程器件的無損檢測(cè)、后道工藝與器件失效分析上發(fā)揮獨(dú)特的作用。講座中羅鋒教授詳細(xì)介紹了層疊相干衍射成像技術(shù)、布拉格層疊相干衍射技術(shù)、X射線全場(chǎng)成像快速檢測(cè)技術(shù)、關(guān)鍵尺寸小角X射線散射等相關(guān)技術(shù)在芯片三維成像、材料應(yīng)力分析、表界面表征等方面的潛在技術(shù)應(yīng)用。
本期“科學(xué)講堂”在濃厚的學(xué)術(shù)氛圍和熱烈的討論中圓滿結(jié)束。

張珽研究員為羅鋒教授授牌

現(xiàn)場(chǎng)熱烈討論
主講人簡(jiǎn)介:
羅鋒,男,現(xiàn)任南開大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院/電子信息與光學(xué)工程學(xué)院雙聘講席教授,先后入選歐盟瑪麗居里學(xué)者、西班牙杰出青年基金、西班牙 I3 杰出教授、第十五批國(guó)家重大人才項(xiàng)目等。目前擔(dān)任深圳綜合粒子研究院科創(chuàng)委委員,上海光源用戶委員會(huì)委員,中國(guó)感光學(xué)會(huì)光刻材料與技術(shù)專業(yè)委員會(huì)委員。研究方向包括未來芯片材料與器件表征技術(shù);MEMS設(shè)計(jì)、器件可靠性、晶圓級(jí)器件加工與電路系統(tǒng)集成。
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