南開大學羅鋒教授做客Nano-X科學講堂
12月20日,蘇州納米所納米真空互聯(lián)實驗站(Nano-X)成功舉辦了第十一期“科學講堂”。本次講堂特邀南開大學材料科學與工程學院/電子信息與光學工程學院羅鋒教授作為主講嘉賓,為大家?guī)砹艘粓鲱}為“同步輻射X射線技術在半導體材料表征與器件缺陷檢測中的應用”的精彩專題講座。本期“科學講堂”由Nano-X主任張珽研究員主持,吸引了所內(nèi)師生的熱情參與。
同步輻射光源大科學裝置技術在原位、元素分辨、時空分辨上具有獨特優(yōu)勢,有望在半導體材料的表界面表征分析以及在先進制程器件的無損檢測、后道工藝與器件失效分析上發(fā)揮獨特的作用。講座中羅鋒教授詳細介紹了層疊相干衍射成像技術、布拉格層疊相干衍射技術、X射線全場成像快速檢測技術、關鍵尺寸小角X射線散射等相關技術在芯片三維成像、材料應力分析、表界面表征等方面的潛在技術應用。
本期“科學講堂”在濃厚的學術氛圍和熱烈的討論中圓滿結束。

張珽研究員為羅鋒教授授牌

現(xiàn)場熱烈討論
主講人簡介:
羅鋒,男,現(xiàn)任南開大學材料科學與工程學院/電子信息與光學工程學院雙聘講席教授,先后入選歐盟瑪麗居里學者、西班牙杰出青年基金、西班牙 I3 杰出教授、第十五批國家重大人才項目等。目前擔任深圳綜合粒子研究院科創(chuàng)委委員,上海光源用戶委員會委員,中國感光學會光刻材料與技術專業(yè)委員會委員。研究方向包括未來芯片材料與器件表征技術;MEMS設計、器件可靠性、晶圓級器件加工與電路系統(tǒng)集成。
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